Features and Benefits 通过快速低温化学气相沉积 (LTCVD),本品可用于无定形硅、外延硅和硅基电介质的沉积。2通过分子束外延 (MBE),与锗的固体原料相结合,还可用于硅锗薄膜的外延生长。3外延硅和硅基电介质快速低温沉积的前体。4 General description Atomic number of base material: 14 Silicon 包装 20 g in ss cylinder Application 外延硅和硅基电介质快速低温沉积的前体。1 Recommended products 推荐使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。