物质信息
ID:309026
名称和标识
别名
Silicon tetrahydride四氢化硅Silane硅烷
IUPAC传统名
silane
IUPAC标准名
silane
化合物性质
安全信息
RID/ADR
UN 2203 2.1
危险公开号
12-17-20
德国WGK号
1
GHS危险品标识
易燃气体类别1
易燃气溶胶，第1,2类
易燃液体，类别1,2,3
自反应物质和混合物，类型B，C，D，E，F
自燃液体类别1
自燃固体类别1
自我放热物质和混合物，类别1,2
与水接触的物质和混合物，放出易燃气体类别1,2,3
有机过氧化物，类别B，C，D，E，F
急性毒性（口服，皮肤接触，吸入），类别4
皮肤刺激，类别2
眼刺激，类别2
皮肤过敏，类别1
特定目标器官毒性 -一次接触，类别3
个人保护装置
Eyeshields, Faceshields, Gloves, half-mask respirator (US), multi-purpose combination respirator cartridge (US)
GHS警示性声明
P210
MSDS下载
联合国危险货物等级
2.1
GHS危险声明
H220-H332
欧盟危险性物质标志
有害性 (Xn)
高度易燃性 (F+)GHS警示词
Danger
联合国危险货物编号
2203
安全公开号
9-16-33-36/37/39
RTECS编号
VV1400000
产品相关信息
级别
electronic grade
杂质
<5 ppm Disilane (Si2H6)
<1 ppm Carbon monoxide (CO)
<2 ppm Nitrogen (N2)
<1 ppm Trisilane (Si3H8)
<2 ppm Siloxanes
<1 ppm Water (H2O)
<1 ppm THC
<1 ppm Chlorosilanes
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<100 ppm Hydrogen (H2)
纯度
≥99.998%
线性分子式
SiH4
理化性质
熔点
-185 °C(lit.)
沸点
-112 °C(lit.)
电阻率
>1000 Ω-cm
外观
gas
转变温度
critical temperature -3.4 °C
蒸汽密度
1.1 (vs air)
密度
1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
描述信息
Application
将硅烷用于无定形硅、外延硅和硅基电介质的沉积。可利用 SiH4-SiF2-H2 气体混合物通过远程等离子体化学气相沉积 (RPCVD) 在硅晶片和玻璃基底上沉积多晶薄膜。1,2硅烷在形成 III-IV 半导体材料时广泛用作掺杂剂。3
Recommended products
建议使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。
将硅烷用于无定形硅、外延硅和硅基电介质的沉积。可利用 SiH4-SiF2-H2 气体混合物通过远程等离子体化学气相沉积 (RPCVD) 在硅晶片和玻璃基底上沉积多晶薄膜。1,2硅烷在形成 III-IV 半导体材料时广泛用作掺杂剂。3
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建议使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。
分子图谱
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参考文献
暂无数据
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