物质信息
ID:341681
名称和标识
IUPAC标准名
methylsilane
IUPAC传统名
silane, methyl-
别名
Methylsilane甲基硅烷
化合物性质
产品相关信息
杂质
<100 ppm Methylchlorosilane CH3SiH2Cl
<10 ppm Carbon dioxide (CO2)
<50 ppm Silane (SiH4)
<10 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Methane (CH4)
<100 ppm Dimethylsilane (CH3)2SiH2
<2 ppm Argon + Oxygen (Ar + O2)
线性分子式
CH3SiH3
纯度
≥99.9%
级别
electronic grade
安全信息
危险公开号
12-14-20/21
GHS危险品标识
易燃气体类别1
易燃气溶胶，第1,2类
易燃液体，类别1,2,3
自反应物质和混合物，类型B，C，D，E，F
自燃液体类别1
自燃固体类别1
自我放热物质和混合物，类别1,2
与水接触的物质和混合物，放出易燃气体类别1,2,3
有机过氧化物，类别B，C，D，E，F
急性毒性（口服，皮肤接触，吸入），类别4
皮肤刺激，类别2
眼刺激，类别2
皮肤过敏，类别1
特定目标器官毒性 -一次接触，类别3
压力下的气体
压缩气体
液化气
冷冻液化气体
溶解的气体
联合国危险货物编号
3161
个人保护装置
Eyeshields, Faceshields, Gloves, half-mask respirator (US), multi-purpose combination respirator cartridge (US)
联合国危险货物等级
2.1
欧盟危险性物质标志
有害性 (Xn)
高度易燃性 (F+)MSDS下载
RID/ADR
UN 3161 2.1
GHS警示词
Danger
GHS警示性声明
P210-P280-P410+P403
德国WGK号
3
欧盟补充危害声明
Reacts violently with water.
安全公开号
16-24-26-36/37/39
GHS危险声明
H220-H280-H312-H332
理化性质
外观
liquid
沸点
-57 °C(lit.)
蒸汽密度
0.628 (-58 °C, vs air)
熔点
-157 °C(lit.)
描述信息
包装
10, 20 g in ss cylinder
Features and Benefits
甲基硅烷用于碳化硅 (SiC) 的等离子体辅助 CVD，以及作为 SiGeC 合金层通过快速热 CVD 法外延生长的前体。1最新的进展包括使用甲基硅烷作为硅-碳-氢聚合物（用作光致抗蚀剂）的前体。
通过化学气相沉积 (CVD) 和分子束外延 (MBE) 形成碳化硅或合金薄膜时的前体。
Recommended products
推荐使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。
10, 20 g in ss cylinder
Features and Benefits
甲基硅烷用于碳化硅 (SiC) 的等离子体辅助 CVD，以及作为 SiGeC 合金层通过快速热 CVD 法外延生长的前体。1最新的进展包括使用甲基硅烷作为硅-碳-氢聚合物（用作光致抗蚀剂）的前体。
通过化学气相沉积 (CVD) 和分子束外延 (MBE) 形成碳化硅或合金薄膜时的前体。
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推荐使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。
分子图谱
暂无数据
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参考文献
暂无数据
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